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一种多工件台直写光刻系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410539094.X
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2014-10-13
  • 申请人:
    江苏影速光电技术有限公司
著录项信息
专利名称一种多工件台直写光刻系统
申请号CN201410539094.X申请日期2014-10-13
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2015-02-25公开/公告号CN104375388A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人江苏影速光电技术有限公司申请人地址
江苏省徐州市邳州市恒山路西侧 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏影速集成电路装备股份有限公司当前权利人江苏影速集成电路装备股份有限公司
发明人曹旸;李阳
代理机构徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新合
摘要
本发明公开了一种多工件台直写光刻系统,采用并行曝光结构,属于直写式光刻机曝光技术领域。包括在支撑结构上通过扫描方向运动导轨安装的并行式多工件台;以及通过步进方向运动导轨安装的,实现对基板曝光的光路系统。与现有的单工件台直写光刻技术相比,本发明大幅降低了结构的复杂性,使原本按顺序串行进行的曝光流程变为并行的曝光流程,极大地缩短了曝光时间,相比目前主流单工件台式直写式曝光机的产能有着显著的增加。此外,本发明一方面简化了的结构设计,能够更好的发挥真空吸附效果,提高曝光品质及生产良率;另一方面,由于多工件台的平行设计,不需要聚焦模块和对准模块进行上下移动,在保证光刻精度的同时,不会增加任何的耗时。

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