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硅片旋转输送装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023334972.4
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2020-12-30
  • 申请人:
    罗博特科智能科技股份有限公司
著录项信息
专利名称硅片旋转输送装置
申请号CN202023334972.4申请日期2020-12-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人罗博特科智能科技股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人罗博特科智能科技股份有限公司当前权利人罗博特科智能科技股份有限公司
发明人吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;刘三利
代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)代理人杨慧林
摘要
本实用新型公开了一种硅片旋转输送装置,包括两侧设置有传输流水线的旋转机构,旋转机构包括驱动组件、旋转盘组件和太阳轮组件,驱动组件包括驱动源;旋转盘组件包括相连的一对转盘和吸附件,一对转盘轴连,其中一个转盘直连驱动源,转盘上设置有吸附件,吸附件包括同步轮组,多个同步轮组两两之间通过同步带相连;太阳轮组件包括太阳轮和固定轴,太阳轮设于固定轴上,太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的同步轮组。本实用新型在旋转盘组件的旋转过程中,吸附件一直保持水平状态,能够实现产品在两个流水线上的稳定精确传输,有利于大大提高工作效率。

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