可集成的光子晶体双波导反向耦合式流体折射率传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN200710064457.9
IPC分类号：G02B6/10;G02B6/12;G02B6/26
申请日期：
2007-03-16
申请人：
清华大学

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专利名称	可集成的光子晶体双波导反向耦合式流体折射率传感器
申请号	CN200710064457.9	申请日期	2007-03-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-08-22	公开/公告号	CN101021593
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/10 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;0;;;G;0;2;B;6;/;1;2;;;G;0;2;B;6;/;2;6查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市信箱82分箱清华大学专利办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	毛晓宇;黄翊东;张巍;彭江得
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明属于光电子技术领域，其特征在于，在半导体上采用电子束曝光和干法刻蚀工艺形成光子晶体双波导结构，光子晶体波导两端接有导光用的连接光波导，并通过选择湿法刻蚀去除牺牲层的一部分形成桥支撑结构。由于光子晶体双波导的反向耦合作用，偶对称传导模式交叉点对应频率的光能从直通波导反向耦合到耦合波导中，导致直通波导传输光谱出现明显凹陷。当被探测的流体物质充满光子晶体周期孔内、或所述光子晶体层的上下空间后，就改变了光子晶体双波导中传导模式的色散特性，或由于外力的作用改变了所述色散特性，都会引起偶对称传导模式交叉点频率的变化进而引起直通波导透射光谱的变化，从而实现了高灵敏度、可集成光子晶体结构的微流量折射率探测与传感。

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