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包括电路图案的基底、用于提供包括电路图案的基底的方法及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201480070395.0
IPC分类号：G03F7/34;B41M5/36;G03F7/09;G03F7/11
申请日期：
2014-10-29
申请人：
荷兰应用自然科学研究组织TNO

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	包括电路图案的基底、用于提供包括电路图案的基底的方法及系统
申请号	CN201480070395.0	申请日期	2014-10-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-03	公开/公告号	CN105829970A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/34 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/34 用选择性转印去除影像的，例如，剥离〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;3;4;;;B;4;1;M;5;/;3;6;;;G;0;3;F;7;/;0;9;;;G;0;3;F;7;/;1;1查看分类表>
申请人	荷兰应用自然科学研究组织TNO	申请人地址	荷兰海牙变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	荷兰应用自然科学研究组织TNO	当前权利人	荷兰应用自然科学研究组织TNO
发明人	罗伯·雅各布·海德律克斯;爱得斯格·康斯坦·彼得·斯米茨;桑迪普·梅农·佩林什里;宾·格伦
代理机构	北京德琦知识产权代理有限公司	代理人	康泉;宋志强

摘要

本发明涉及基底上的电路图案以及用于形成基底上的电路图案的方法和系统。在典型的实施例中，光图案被投射至穿过透明层，以使连续材料层和透明层之间的粘附性图案化释放。从基底上撕下被粘附于图案化的材料层的释放层，以分离具有较低粘附性的材料，同时留下未被曝光的材料以在其上形成电路图案。

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