一种模仁保护膜的去除装置及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510102018.3
IPC分类号：C03B11/00
申请日期：
2005-12-02
申请人：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种模仁保护膜的去除装置及方法
申请号	CN200510102018.3	申请日期	2005-12-02
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-06-13	公开/公告号	CN1978351
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03B11/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03B 玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺（表面处理入C03C） C03B11/00 玻璃的压制	IPC分类号	C;0;3;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司	当前权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人	萧博元;张庆州
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种模仁保护膜的去除装置，其包括一腔体，一承载台，一氧等离子体产生装置，及一抽真空装置。本发明还涉及一种模仁保护膜的去除方法，其使用氧等离子体依次轰击待处理工件表面的类金刚石碳层与中间层，使各膜层结构发生变化丧失附着力而从工件上剥离。该方法可以将不合格、损坏或不良的模仁保护膜从基底上快速有效去除，同时又不损坏基底以利再次重新在基底上形成保护膜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供