用于硅片花篮的装篮搬运机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920552978.7
IPC分类号：H01L21/677
申请日期：
2019-04-22
申请人：
张家港市德昶自动化科技有限公司

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专利名称	用于硅片花篮的装篮搬运机
申请号	CN201920552978.7	申请日期	2019-04-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	张家港市德昶自动化科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市张家港市杨舍镇李巷村（金港大道东侧）1室张家港市德昶自动化科技有限公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	张家港市德昶自动化科技有限公司	当前权利人	张家港市德昶自动化科技有限公司
发明人	杨宣教
代理机构	苏州市港澄专利代理事务所（普通合伙）	代理人	马丽丽

摘要

本申请公开了一种用于硅片花篮的装篮搬运机，包括机架、抓取机构和推车，推车与机架抽屉式连接，机架内设有花篮放置腔，花篮放置腔的底面由至少一块固定板、推车的顶板以及托板拼接而成，花篮放置腔侧壁上设有开口，托板对应开口设置，托板通过第一垂直气缸与机架连接，固定板与机架固定连接，抓取机构包括一对横向电缸、纵向电缸和第二垂直电缸，一对横向电缸对称设置在花篮放置腔顶部，纵向电缸与一对横向电缸滑动连接，第二垂直电缸与横向电缸垂直设置，垂直电缸与横向电缸滑动连接，垂直电缸上设有上下移动的双向气缸，双向气缸的输出端分别连接有夹片。该用于硅片花篮的装篮搬运机通过各电缸联动以及夹片夹持，实现多角度自动化抓取花篮。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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