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具有光导管的影像感测装置及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200410097031.X
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2004-12-08
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称具有光导管的影像感测装置及其制造方法
申请号CN200410097031.X申请日期2004-12-08
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2005-06-22公开/公告号CN1630090
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
台湾省新竹科学工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人杨敦年;喻中一
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李强
摘要
本发明提供一种具有光导管的影像感测装置及其制造方法。形成一影像感测数组于基底上,该影像感测数组包括多个光传感器,且相邻的光传感器之间具有一空间。形成具有第一折射系数的第一介电层于上述空间上方,但并不在光传感器上。形成具有第二折射系数的顺应的第二介电层于第一介电层侧壁上。形成具有第三折射系数的第三介电层于光传感器上方,但并不在上述空间上。第三折射系数大于第二折射系数。其中,一光导管是由形成于每一光传感器上方的第二、第三介电层所构成,其能避免入射光照到其它光传感器。

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