一种MEMS矢量传声器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110680456.7
IPC分类号：G01H11/06;B81B7/02
申请日期：
2021-06-18
申请人：
中国电子科技集团公司第三研究所

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著录项信息

专利名称	一种MEMS矢量传声器及其制备方法
申请号	CN202110680456.7	申请日期	2021-06-18
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-26	公开/公告号	CN113551761A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01H11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01H 机械振动或超声波、声波或次声波的测量〔4〕 G01H11/00 通过检测电或磁特性的变化测量机械振动或超声波、声波或次声波 G01H11/06 用电的方法〔4〕	IPC分类号	G;0;1;H;1;1;/;0;6;;;B;8;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第三研究所	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥北路乙7号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第三研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第三研究所
发明人	魏晓村;刘云飞;周瑜;冯杰
代理机构	工业和信息化部电子专利中心	代理人	田卫平

摘要

本发明公开了一种MEMS矢量传声器及其制备方法，该MEMS矢量传声器包括：基底、绝热层、导热层和敏感层；其中，所述敏感层包括：电极、加热电阻和传感电阻；在所述基底顶部开设有前后贯通的凹槽，以在所述基底的左右两侧形成两个凸台；所述绝热层分别布置在所述两个凸台上，且在所述绝热层上布置有所述电极；所述导热层被所述绝热层支撑，以悬空在所述凹槽上；所述加热电阻和传感电阻布置在所述导热层上，且所述加热电阻和传感电阻的两端分别与所述电极连接；本发明解决了现有MEMS矢量传声器因在低频和高频频带内响应特性衰减而引起的声信号在接收和后续处理上产生严重失真的技术问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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