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隔离器件及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711446077.1
  • IPC分类号:H01L21/762;H01L21/761;H01L21/266
  • 申请日期:
    2017-12-27
  • 申请人:
    无锡华润上华科技有限公司
著录项信息
专利名称隔离器件及其制备方法
申请号CN201711446077.1申请日期2017-12-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-07-05公开/公告号CN109979873A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/762IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;6;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;1;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;6查看分类表>
申请人无锡华润上华科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡华润上华科技有限公司当前权利人无锡华润上华科技有限公司
发明人罗泽煌;马春霞
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人李文渊
摘要
本发明提出一种隔离器件及其制备方法,在底区上方注入形成额外注入区,额外注入区在外延层下方,额外注入区与外延层具备相同的导电类型,因此使得外延层中用于制备需被隔离的器件的盆状掺杂区内的区域,其纵向上的宽度与浓度增加,从而提高了隔离结构的穿通电压最大值;而且是在底区上方产生具备水平方向浓度梯度的额外注入区,该额外注入区的中心区的第一导电类型离子浓度大于过渡区的第一导电类型离子浓度,额外注入区具备水平方向浓度梯度又缓和了底区的浓度增加的情况,减小了底区的浓度增加对隔离器件的最大操作电压造成限制的影响;此外仅一次光刻就完成了底区和额外注入区的注入,减少了光刻数,节约制备成本。

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