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快速改变焦距的系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN02824633.0
IPC分类号：H01J37/147
申请日期：
2002-10-09
申请人：
应用材料以色列有限公司

基础信息

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	快速改变焦距的系统和方法
申请号	CN02824633.0	申请日期	2002-10-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2005-03-30	公开/公告号	CN1602537
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/147 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/147 沿所需路径导引或偏转电子流的装置（透镜入H01J 37/10）〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;1;4;7查看分类表>
申请人	应用材料以色列有限公司	申请人地址	以色列雷霍沃特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料以色列有限公司	当前权利人	应用材料以色列有限公司
发明人	卓尔·舍密施;杜彼·沙卡尔
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	蒋世迅

摘要

一种快速改变带电粒子束焦距的设备和方法，该方法包括步骤：随着控制信号电压值与带电粒子束焦距之间的关系，改变控制信号，其中控制信号是加速电压。

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