离子注入装置及离子注入方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510310676.5
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/21
申请日期：
2015-06-09
申请人：
斯伊恩股份有限公司

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著录项信息

专利名称	离子注入装置及离子注入方法
申请号	CN201510310676.5	申请日期	2015-06-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-02-03	公开/公告号	CN105304442A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;2;1查看分类表>
申请人	斯伊恩股份有限公司	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	斯伊恩股份有限公司	当前权利人	斯伊恩股份有限公司
发明人	椛泽光昭;八木田贵典
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	徐殿军

摘要

本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(300)具备：射束扫描部(306)；及配设于射束扫描部(306)的下游的射束平行化部(308)。射束扫描部(306)在入射离子束的中心轴上的射束扫描部(306)的中央部具有扫描原点。射束平行化部(308)在扫描原点具有作为平行化透镜的焦点。离子注入装置(300)构成为，向射束扫描部(306)入射的入射离子束的焦点位置沿着入射离子束的中心轴而位于扫描原点的上游侧。向射束扫描部(306)入射的入射离子束的焦点位置被调整为，沿着入射离子束的中心轴而位于扫描原点的上游侧，以便补正由从射束平行化部(308)射出的出射离子束的空间电荷效应引起的发散现象。

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