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激光微孔加工的光束扫描装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911346223.2
  • IPC分类号:G02B26/10;B23K26/06;B23K26/382;B23K26/70
  • 申请日期:
    2019-12-24
  • 申请人:
    西安中科微精光子制造科技有限公司
著录项信息
专利名称激光微孔加工的光束扫描装置
申请号CN201911346223.2申请日期2019-12-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-04-14公开/公告号CN111001928A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/10IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;1;0;;;B;2;3;K;2;6;/;0;6;;;B;2;3;K;2;6;/;3;8;2;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0查看分类表>
申请人西安中科微精光子制造科技有限公司申请人地址
陕西省西安市高新区丈八街办创汇路32号电子一车间301室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人西安中科微精光子制造科技有限公司当前权利人西安中科微精光子制造科技有限公司
发明人康伟;王宁;赵华龙;赵荣昌
代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)代理人曹卫良
摘要
一种激光微孔加工的光束扫描装置,包括反射模块、偏转模块、平移模块和聚焦模块;所述反射模块包括第一反射子模块及第二反射子模块;所述偏转模块及平移模块的数量均为两个;两个偏转模块的轴系相对转动且均设置于所述第一反射子模块与所述第二反射子模块之间,每个偏转模块包括光楔组件及用于带动光楔组件绕第一轴向转动的第一直驱式电机;两个平移模块的轴系相对转动且均设置于所述第二反射镜组件与所述聚焦模块之间,每个平移模块包括平板组件及用于带动平板组件绕第二轴向转动的第二直驱式电机。本发明能实现大深径比及不同锥度孔加工。

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