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通过光学成像对用于光伏电池的硅晶圆进行质量鉴定

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201280067547.2
  • IPC分类号:H02S50/15;H01L31/18
  • 申请日期:
    2012-12-07
  • 申请人:
    荷兰能源研究中心基金会
著录项信息
专利名称通过光学成像对用于光伏电池的硅晶圆进行质量鉴定
申请号CN201280067547.2申请日期2012-12-07
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日2014-09-24公开/公告号CN104067512A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H02S50/15IPC分类号H;0;2;S;5;0;/;1;5;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人荷兰能源研究中心基金会申请人地址
荷兰帕滕 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人荷兰能源研究中心基金会当前权利人荷兰能源研究中心基金会
发明人尼古拉斯·约翰尼斯·克莱门斯·玛丽亚·凡·德·博格;佩特拉·曼斯翰丹;马尔腾·德·布雷纳;加布里埃尔·约翰娜·玛丽亚·詹森;詹卢卡·科勒蒂;埃弗特·尤金·本德
代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司代理人王琳;武晨燕
摘要
在太阳能电池制造过程期间,通过在使晶圆的一表面裸露(例如在该表面上无发射极扩散或覆盖层)的蚀刻步骤后,捕获从晶圆的表面散射的光的光学图像,来对晶圆进行特性化。图像处理操作应用于所捕获的图像,以得到经处理的图像,图像处理操作为加强边缘特征类型的图像处理操作。使用经处理的图像评估晶圆上的错位的密度,且该密度用作性能预测算法的输入。依据从性能预测算法获得的对特性的预测来控制晶圆的一个或更多个其他处理步骤的施用。例如:可停止处理或可旋转晶圆。

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