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基片、具有该基片的液晶显示器及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03811406.2
  • IPC分类号:G02F1/1368;G09F9/30;H01L29/786
  • 申请日期:
    2003-04-14
  • 申请人:
    夏普株式会社
著录项信息
专利名称基片、具有该基片的液晶显示器及其制造方法
申请号CN03811406.2申请日期2003-04-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-08-10公开/公告号CN1653508
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/1368IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;6;8;;;G;0;9;F;9;/;3;0;;;H;0;1;L;2;9;/;7;8;6查看分类表>
申请人夏普株式会社申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人夏普株式会社当前权利人夏普株式会社
发明人小倉雅史;片岡義晴
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人火惠颖
摘要
本发明的基片(10)包括:第一电极(26)和第二电极(30)。第二电极(30)在至少覆盖部分第一电极(26)的绝缘薄膜(52)上形成,并通过在绝缘薄膜(52)中形成的接触孔(50)与第一电极(26)电连接。所述第一电极(26)包括金属薄膜(42)和保护薄膜(44)的层迭结构。相对用于形成金属薄膜(42)和保护薄膜(44)的第一蚀刻,金属薄膜(42)的蚀刻速率几乎等于保护薄膜(44)的蚀刻速率。相对用于形成接触孔(50)的第二蚀刻,保护薄膜(44)的蚀刻速率几乎为零。

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