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用于晶棒装运的真空吸盘及包括该真空吸盘的真空吊具

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220468185.5
  • IPC分类号:B65G47/91
  • 申请日期:
    2012-09-13
  • 申请人:
    英利能源(中国)有限公司
著录项信息
专利名称用于晶棒装运的真空吸盘及包括该真空吸盘的真空吊具
申请号CN201220468185.5申请日期2012-09-13
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/91IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;9;1查看分类表>
申请人英利能源(中国)有限公司申请人地址
河北省保定市朝阳北大街3399号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人英利能源(中国)有限公司当前权利人英利能源(中国)有限公司
发明人杜振杰;邵国亮;李殊飞;石志学
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人魏晓波
摘要
本实用新型公开了一种用于晶棒装运的真空吸盘,其包括吸附板(1),所述吸附板(1)上设有与真空泵连通的抽风孔(11);所述吸附板(1)的底壁设置为与所述晶棒的形状相配合的圆弧面,所述吸附板(1)的底壁四周贴合设有密封部件(12)。采用这种结构,使得吸附板与晶棒的接触面较大,进而增大密封部件与晶棒的接触面积,增强了真空吸盘对晶棒的吸附可靠性。因此,避免了装运过程中由于晶棒脱落伤人的情况,保证了该真空吸盘的工作安全性。本实用新型还提供一种用于晶棒装运的真空吊具,包括真空泵和真空吸盘;所述真空吸盘采用如上所述的真空吸盘,具有相同效果。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供