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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

具有波前测量装置与光学波前操纵器的投射曝光设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201580068983.5
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2015-12-16
  • 申请人:
    卡尔蔡司SMT有限责任公司
著录项信息
专利名称具有波前测量装置与光学波前操纵器的投射曝光设备
申请号CN201580068983.5申请日期2015-12-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-08-29公开/公告号CN107111241A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司申请人地址
德国上科亨 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司当前权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人M.阿恩茨;S.布雷迪斯特尔;T.格鲁纳;J.哈杰斯;M.施瓦布
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人王蕊瑞
摘要
一种投射曝光设备,包含投射镜头(12);波前测量装置,其测量在该投射镜头(12)中的波前,该波前测量装置包含莫尔光栅布置(14),其具有设计为分别布置于该投射镜头(12)的物平面(20)中的物光栅(16)与像平面(22)中的像光栅(18),其中该物光栅(16)与该像光栅(18)以从该物光栅(16)到该像平面(22)上的成像(24)与该像光栅(18)产生莫尔叠加图案的方式以真实比例的方式彼此协调,其中该莫尔光栅布置(14)以针对该物平面(20)中物场(26)和/或该像平面(22)中像场(28)的多个场点同时产生莫尔叠加图案的方式设计。

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