扩散炉管及扩散炉

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821763301.X
IPC分类号：C30B31/10;C30B31/16;C30B29/06
申请日期：
2018-10-29
申请人：
珠海格力电器股份有限公司

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专利名称	扩散炉管及扩散炉
申请号	CN201821763301.X	申请日期	2018-10-29
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B31/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置〔3，5〕 C30B31/06 同气态扩散材料接触的（C30B 31/18优先）〔3〕 C30B31/10 反应室；其所用材料的选择〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;1;/;1;0;;;C;3;0;B;3;1;/;1;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	珠海格力电器股份有限公司	申请人地址	广东省珠海市前山金鸡西路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	珠海格力电器股份有限公司	当前权利人	珠海格力电器股份有限公司
发明人	王诗涛
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华

摘要

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开一种扩散炉管及扩散炉，扩散炉管包括：炉管本体，内部形成硅片进行扩散反应的工艺腔室，工艺腔内设有用于供硅片经过的硅片流通区；至少一部分位于工艺腔室内的气体输送部件，用于将扩散气体输送至炉管本体内；气体输送部件位于工艺腔室内的部分包括预热段和排气段，排气段上设有至少一个排气孔组，每一个排气孔组包括至少一个排气孔。上述扩散炉管可以用于缓解或消除炉管进气口处的气流紊乱现象。

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