一种底部抗反射膜树脂和组合物及图案形成方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110685998.3
IPC分类号：C08G63/685;C08G63/87;G03F7/09;G03F7/00
申请日期：
2021-06-21
申请人：
厦门恒坤新材料科技股份有限公司

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专利名称	一种底部抗反射膜树脂和组合物及图案形成方法
申请号	CN202110685998.3	申请日期	2021-06-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-17	公开/公告号	CN113402703A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08G63/685 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08G 用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物（发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P）〔2〕 C08G63/00 由在高分子主链上形成羧酸酯键的反应制得的高分子化合物（聚酯-酰胺类入C08G 69/44；聚酯-酰亚胺类入C08G 73/16）〔2，5〕 C08G63/68 含有碳、氢及氧以外其他原子的聚酯（C08G 63/64优先）〔4〕 C08G63/685 含氮的〔5〕	IPC分类号	C;0;8;G;6;3;/;6;8;5;;;C;0;8;G;6;3;/;8;7;;;G;0;3;F;7;/;0;9;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	厦门恒坤新材料科技股份有限公司	申请人地址	福建省厦门市海沧区东孚镇山边路389号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	厦门恒坤新材料科技股份有限公司	当前权利人	厦门恒坤新材料科技股份有限公司
发明人	王静;毛鸿超;肖楠
代理机构	厦门荔信航知专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	马小玲

摘要

本发明属于光刻领域，涉及一种底部抗反射膜树脂和组合物及图案形成方法。所述底部抗反射膜树脂包括含氟双酯基结构单元以及任选的不含氟双酯基结构单元；所述底部抗反射膜树脂的重均分子量Mw为1000～100000；所述含氟双酯基结构单元在底部抗反射膜树脂分子链中的占比为30wt％以上，所述不含氟双酯基结构单元在底部抗反射膜树脂分子链中的占比为0～20wt％。本发明提供的底部抗反射膜树脂和组合物能够在基本不影响折光率的基础上降低吸光度，极具工业应用前景。

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