微机电装置及应用于一微机电装置的复合基材

发明专利无效专利

申请号：
CN201010509507.1
IPC分类号：B81B7/02
申请日期：
2010-10-08
申请人：
探微科技股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微机电装置及应用于一微机电装置的复合基材
申请号	CN201010509507.1	申请日期	2010-10-08
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-09	公开/公告号	CN102442631A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕 B81B7/02 包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统（MEMS）（B81B7/04优先）〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;2查看分类表>
申请人	探微科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾桃园县杨梅市高狮路566号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	探微科技股份有限公司	当前权利人	探微科技股份有限公司
发明人	林弘毅;李柏勋;陈明发
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	任永武

摘要

本发明提供一种微机电装置及应用于一微机电装置的复合基材。微机电装置包含一第一硅结构层及一第二硅结构层，第二硅结构层固定地连接第一硅结构层。第一硅结构层具有一可扭转的杆件及一第一平面，并定义有一第一晶格方向及一第二晶格方向，第一晶格方向的米勒指标为<100>，第二晶格方向的米勒指标为<110>，第一晶格方向及第二晶格方向平行第一平面，杆件具有一转轴方向，转轴方向平行第一平面，且与第二晶格方向交错。藉此，便可改善微机电装置中杆件的扭转刚性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供