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一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710532082.8
  • IPC分类号:C23C16/27;C23C16/02
  • 申请日期:
    2017-07-03
  • 申请人:
    浙江工业大学
著录项信息
专利名称一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法
申请号CN201710532082.8申请日期2017-07-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-11-28公开/公告号CN107400874A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/27IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;2;7;;;C;2;3;C;1;6;/;0;2查看分类表>
申请人浙江工业大学申请人地址
浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学科技处 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江工业大学当前权利人浙江工业大学
发明人李晓;陈建清;胡晓君;冯涛
代理机构杭州天正专利事务所有限公司代理人黄美娟;王兵
摘要
本发明提供了一种以Cr/CrN/CrTiAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,所述方法包括:对不锈钢表面进行喷砂处理,采用磁控溅射在经过喷砂处理的不锈钢表面沉积Cr/CrN/CrTiAlN过渡层,采用化学气相沉积方法,在制备的Cr/CrN/CrTiAlN过渡层上沉积金刚石薄膜;本发明以Cr/CrN/CrTiAlN为过渡层,有效阻挡了铁、碳的扩散,提高了形核率,可以在低温度下制备金刚石薄膜,该金刚石薄膜的应力值较小,小于等于1.25GPa,与不锈钢热导率相比,本发明含涂层不锈钢热导率提高3%~11%。

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