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用于薄膜太阳能电池的磁控溅射设备及其控制系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210143679.0
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2012-05-10
  • 申请人:
    深圳市创益科技发展有限公司
著录项信息
专利名称用于薄膜太阳能电池的磁控溅射设备及其控制系统
申请号CN201210143679.0申请日期2012-05-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-08-22公开/公告号CN102644056A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人深圳市创益科技发展有限公司申请人地址
广东省深圳市福田区深南大道与金田路交界西南路深圳国际交易广场2112-2116室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市创益科技发展有限公司当前权利人深圳市创益科技发展有限公司
发明人宋光耀;李毅;刘志斌;翟宇宁
代理机构深圳市毅颖专利商标事务所(普通合伙)代理人张艺影
摘要
本发明涉及一种用于薄膜太阳能电池的磁控溅射设备及其控制系统,属于磁控溅射镀膜技术领域,解决所镀膜层的厚度一致性等技术问题。磁控溅射设备包括安装在真空腔室内的旋转靶,该旋转靶呈筒状,其上装有可移动的磁体,靶筒外壁上装有靶材,内部装磁体,靶轴贯穿靶筒,磁体的移动机构装在靶轴的一端,靶轴的另一端装有靶材旋转机构。旋转靶电源,其一端与真空腔体内的阴极连接,另一端连接工控机,该工控机与移动机构控制器及移动机构相互连接,形成闭环控制系统,由电脑程序控制磁体移动。积极效果是通过闭环控制系统调节靶电源以及磁铁和靶材之间距离,保证所镀膜层厚度的均匀性和致密度的一致性。

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