Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路

发明专利有效专利

申请号：
CN201210511274.8
IPC分类号：G01P15/08
申请日期：
2012-12-04
申请人：
哈尔滨工业大学

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专利名称	Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路
申请号	CN201210511274.8	申请日期	2012-12-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-03	公开/公告号	CN103018485A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;8查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	刘晓为;徐宏林;尹亮;吕炳均;付强;李拓;王庆一;李强
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

Σ-Δ微加速度计接口ASIC芯片中基于质量块静电力反馈的线性化电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决现有的Σ-Δ微加速度计存在的问题。本发明方案：当有外界加速度信号作用于微机械加速度计敏感结构时，质量块偏离平衡位置，在上下极板分别施加周期方波激励信号V+、V-，机械加速度计敏感结构输出电荷信号。电荷信号经过电荷电压转换单元、前级放大单元、相关双采样与采样保持单元后输出电压信号Vdis。电压信号Vdis经过Σ-Δ调制器单元输出差分的位流信号Out_p和Out_n。位流信号分别通过参考电压+Vref或-Vref同Vdis进行运算，得到线性化的反馈电压Vf，并施加于敏感结构质量块上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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