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用于批处理的倾斜板及其使用方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480064262.2
  • IPC分类号:H01L21/205
  • 申请日期:
    2014-11-18
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称用于批处理的倾斜板及其使用方法
申请号CN201480064262.2申请日期2014-11-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-07-13公开/公告号CN105765697A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/205IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;0;5查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人J·尤多夫斯基;K·格里芬
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人暂无
摘要
提供一种用于处理多个基板的基板处理腔室与方法,所述基板处理腔室一般包括气体分配组件、基座组件与气体转向器,所述基座组件用于沿着邻近气体分配组件的每一个的路径旋转基板,气体转向器用于改变处理腔室中的气体流动的角度。

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