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可降低扰流的槽盘式液体循环系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201521016453.X
  • IPC分类号:C03C17/00
  • 申请日期:
    2015-12-09
  • 申请人:
    盟立自动化股份有限公司
著录项信息
专利名称可降低扰流的槽盘式液体循环系统
申请号CN201521016453.X申请日期2015-12-09
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03C17/00IPC分类号C;0;3;C;1;7;/;0;0查看分类表>
申请人盟立自动化股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人盟立自动化股份有限公司当前权利人盟立自动化股份有限公司
发明人林子中;黄荣龙;吕峻杰
代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司代理人江耀纯
摘要
一种槽盘式液体循环系统包括一槽体、一进液装置以及一输送装置,所述槽体包括一底壁以及一环绕侧壁,所述环绕侧壁突出于所述底壁,所述环绕侧壁与所述底壁共同定义一容置空间及连通于所述容置空间的一开口,其中所述容置空间用以容置一液体,所述进液装置设置在所述槽体的上方,所述进液装置沿一第一方向通过所述开口提供一补充液体至位于所述容置空间内的所述液体,所述输送装置设置在所述槽体的所述容置空间内,所述输送装置用以沿一第二方向输送一平板构件通过所述液体。

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