用于法布里-珀罗干涉仪的镜板以及法布里-珀罗干涉仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201680014528.1
IPC分类号：G01J3/26;G01J3/45;G02B5/08;G02B5/28;G02B26/00;G01B9/02;B81B7/00
申请日期：
2016-03-08
申请人：
芬兰国家技术研究中心股份公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于法布里-珀罗干涉仪的镜板以及法布里-珀罗干涉仪
申请号	CN201680014528.1	申请日期	2016-03-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-12-01	公开/公告号	CN107430032A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J3/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J3/00 光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色〔4〕 G01J3/12 光谱的产生；单色器 G01J3/26 应用多次反射，例如，法布里—珀罗（Fabry-perot）干涉仪，可变干涉滤光器	IPC分类号	G;0;1;J;3;/;2;6;;;G;0;1;J;3;/;4;5;;;G;0;2;B;5;/;0;8;;;G;0;2;B;5;/;2;8;;;G;0;2;B;2;6;/;0;0;;;G;0;1;B;9;/;0;2;;;B;8;1;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	芬兰国家技术研究中心股份公司	申请人地址	芬兰埃斯波变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	芬兰国家技术研究中心股份公司	当前权利人	芬兰国家技术研究中心股份公司
发明人	A.瓦普拉;M.普伦尼拉;K.格里戈拉斯
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	申屠伟进;郑冀之

摘要

一种用来制造用于法布里‑珀罗干涉仪（300）的镜板（100）的方法，包括：‑提供包括硅（Si）的基板（50），‑在基板（50）上实现半透明反射涂层（110），‑通过在基板（50）中蚀刻多个空隙（E1）并且通过钝化空隙（E1）的表面来在基板（50）中和/或在基板（50）上形成钝化区域（70a），‑在钝化区域（70a）的顶部上形成第一传感器电极（G1a），以及‑形成由基板（50）支撑的第二传感器电极（G1b）。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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该专利没有被任何外部专利所引用！

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