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一种罩式真空退火炉

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022668604.7
  • IPC分类号:C21D1/26;C21D1/773;C21D9/00
  • 申请日期:
    2020-11-18
  • 申请人:
    吴江飞乐天和电子材料有限公司
著录项信息
专利名称一种罩式真空退火炉
申请号CN202022668604.7申请日期2020-11-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C21D1/26IPC分类号C;2;1;D;1;/;2;6;;;C;2;1;D;1;/;7;7;3;;;C;2;1;D;9;/;0;0查看分类表>
申请人吴江飞乐天和电子材料有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴江区桃源镇桃乌公路1998号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人吴江飞乐天和电子材料有限公司当前权利人吴江飞乐天和电子材料有限公司
发明人濮丹飞
代理机构苏州国诚专利代理有限公司代理人王丽
摘要
本实用新型公开了一种罩式真空退火炉,包括退火炉主体、真空泵、风扇、保护气瓶和冷凝器,风扇安装在退火炉主体的上端面,退火炉主体外部设置有保护罩,保护罩的内部设置有隔离罩,保护罩与隔离罩滑动连接,保护罩的内端面设置有冷水管,冷水管的两端与冷凝器连接,退火炉主体的下端面设置有真空管,真空管与保护气瓶和真空泵贯通连接,隔离罩的内端面设置有加热器,退火炉主体的底部上端面设置有置物台。本实用新型通过保护罩与隔离罩配合,加强对设备保温的同时为隔离罩提供一定的膨胀空间,避免隔离罩受热膨胀造成设备形变,通过螺旋排列的冷水管与风扇配合,加速了设备内部环境的冷却。

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