晶片盒和机械手调节系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420546189.X
IPC分类号：--
申请日期：
2014-09-22
申请人：
中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	晶片盒和机械手调节系统
申请号	CN201420546189.X	申请日期	2014-09-22
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
发明人	魏红建
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本实用新型提供了一种晶片盒，包括多个晶片容置单元，还包括连接每个晶片容置单元的触碰侦测器。当镀有导体层的晶片在放入或移出晶片容置单元的过程中，若晶片的边缘触碰到晶片容置单元，所述触碰侦测器会进行提示。本实用新型还提供一种机械手调节系统，包含上述晶片盒，其机械手能根据其承载的镀有导体的晶片和触碰侦测器的指示，调整其工作轨迹，使其在后续承载普通晶片进行放入和移出工作时，保持晶片不被磨损。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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