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无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210315773.X
  • IPC分类号:G06K19/06;G03F7/20
  • 申请日期:
    2012-08-30
  • 申请人:
    天津芯硕精密机械有限公司
著录项信息
专利名称无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法
申请号CN201210315773.X申请日期2012-08-30
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2013-01-16公开/公告号CN102880892A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G06K19/06IPC分类号G;0;6;K;1;9;/;0;6;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人天津芯硕精密机械有限公司申请人地址
天津市滨海新区开发区黄海路167号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人天津芯硕精密机械有限公司当前权利人天津芯硕精密机械有限公司
发明人董帅
代理机构安徽合肥华信知识产权代理有限公司代理人余成俊
摘要
本专利公开了一种无掩膜光刻机曝光中实时添加条形码的方法,包括生成条形码的图像信息矩阵,在曝光中根据矩阵内容实时添加矩形到待曝光的图形文件中。本专利中的方法满足了在曝光中在指定位置添加指定大小和码制的条形码的需求。

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