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翻新双极静电卡盘的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980138719.9
  • IPC分类号:H01L21/683;H01L21/687
  • 申请日期:
    2009-10-10
  • 申请人:
    朗姆研究公司
著录项信息
专利名称翻新双极静电卡盘的方法
申请号CN200980138719.9申请日期2009-10-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-08-31公开/公告号CN102171808A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人朗姆研究公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人朗姆研究公司当前权利人朗姆研究公司
发明人石洪
代理机构上海胜康律师事务所代理人周文强;李献忠
摘要
根据本发明的一方面,双极静电卡盘翻新处理无需物理分离所述静电卡盘的两个电极。本发明的一方面涉及处理双极静电卡盘的方法,所述双极静电卡盘具有前表面和后表面并包括设置在所述前表面上的第一电极、第二电极以及设置在所述前表面、所述第一电极和所述第二电极上的阳极氧化层。所述方法包括测量所述静电卡盘的第一参数;如果所述测量得的第一参数不在第一预定范围内,丢弃所述静电卡盘;如果所述测量得的第一参数在所述第一预定范围内,清洁所述静电卡盘,用密封剂密封所述前表面上的所述第一电极和所述第二电极之间的缝隙,而不使所述第一电极相对应于第二电极位移,消除所述氧化层;以及在所述前表面、所述第一电极和所述第二电极上设置新的阳极氧化层。

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