曝光装置和曝光方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200410028478.1
IPC分类号：--
申请日期：
2004-03-12
申请人：
佳能株式会社

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	曝光装置和曝光方法
申请号	CN200410028478.1	申请日期	2004-03-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-22	公开/公告号	CN1530753
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	冈田芳幸
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李德山

摘要

一种曝光装置，具有检测气压的气压计、驱动投影光学系统的透镜的透镜驱动单元、改变曝光光源的波长的光源波长驱动单元、和可以在光轴方向上驱动晶片台的晶片台驱动单元，可以通过透镜驱动单元、光源波长驱动单元和晶片台驱动单元校正由于气压变动产生的象差。这里，在该曝光装置的拍摄曝光中用透镜驱动单元和/或晶片台驱动单元校正象差，在非曝光时(拍摄之间)用光源波长驱动单元和/或透镜驱动单元和晶片台驱动单元校正象差。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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