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一种阵列式微细阶梯槽的电火花加工方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710330837.6
  • IPC分类号:B23H1/00
  • 申请日期:
    2017-05-11
  • 申请人:
    苏州含光微纳科技有限公司
著录项信息
专利名称一种阵列式微细阶梯槽的电火花加工方法
申请号CN201710330837.6申请日期2017-05-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-11-23公开/公告号CN108856918A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23H1/00IPC分类号B;2;3;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人苏州含光微纳科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7-504室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州含光微纳科技有限公司当前权利人苏州含光微纳科技有限公司
发明人吴烨娴;夏雁鸣;马盛林;陈兢
代理机构北京君尚知识产权代理有限公司代理人邱晓锋
摘要
本发明涉及一种阵列式微细阶梯槽的电火花加工方法。该方法首先制备大小不同图形的微细阵列电极,然后分别采用所述大小不同图形的微细阵列电极对工件进行不同深度的电火花加工,形成微细阵列的阶梯槽。所述阶梯槽的台阶数目大于等于2个,不同图形的数目与阶梯槽的台阶数相对应。进一步还可通过增加完全相同图形的微细阵列电极进行电极损耗补偿。本发明能够通过微细电火花技术完成阵列的N(N≥2)阶的微细阶梯槽加工,并能通过补偿电极损耗的方式保证阶梯槽的垂直度。

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