三维测量装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201680081606.X
IPC分类号：G01B11/25;G01B11/24;H05K3/34
申请日期：
2016-08-31
申请人：
CKD株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	三维测量装置
申请号	CN201680081606.X	申请日期	2016-08-31
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2018-10-23	公开/公告号	CN108700409A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/25 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率 G01B11/25 通过在物体上投影一个图形，例如莫尔（moiré）条纹（G01B 11/255优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;5;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;H;0;5;K;3;/;3;4查看分类表>
申请人	CKD株式会社	申请人地址	日本爱知县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	CKD株式会社	当前权利人	CKD株式会社
发明人	大山刚;坂井田宪彦;二村伊久雄
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	刘军

摘要

提供一种当进行三维测量时能够提高测量精度等的三维测量装置。基板检查装置(10)包括移动印刷基板(1)的输送机(13)、向印刷基板(1)照射预定光的照明装置(14)、用于拍摄被照射了该光的印刷基板(1)的相机(15)。相机(15)包括设置为能够在上下方向上变位的拍摄元件和使印刷基板(1)的像成像在其上的双侧远心光学系统。并且，在进行以三维测量为目的的与印刷基板(1)的预定区域有关的拍摄的前一阶段，进行该预定区域的高度测量等的同时，基于其结果进行拍摄元件(17)的高度调整等。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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