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有关未被抽样的工件的数据表示

发明专利无效专利

申请号：
CN200680033038.2
IPC分类号：G05B19/418;H01L21/66
申请日期：
2006-08-23
申请人：
先进微装置公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	有关未被抽样的工件的数据表示
申请号	CN200680033038.2	申请日期	2006-08-23
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-09-10	公开/公告号	CN101263437
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/418 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/418 全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;4;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	先进微装置公司	申请人地址	英属开曼群岛大开曼岛变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	格罗方德半导体公司	当前权利人	格罗方德半导体公司
发明人	S·P·里夫斯;M·G·麦金太尔
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	戈泊

摘要

本发明揭示了一种提供与未被抽样的工件相关联的数据表示之方法、装置、及系统。接收与第一工件有关的所测量之量测数据(metrologydata)。根据与该第一工件有关的量测数据，而求与第二工件对应的量测数据之近似值，以便提供与该第二工件有关的预计(projected)量测数据。

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