真空泵及检漏仪

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020221355.4
IPC分类号：G01M3/26
申请日期：
2020-02-27
申请人：
株式会社岛津制作所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	真空泵及检漏仪
申请号	CN202020221355.4	申请日期	2020-02-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空 G01M3/26 通过测量流体的增减速率，例如，用压力响应装置，用流量计〔2〕	IPC分类号	G;0;1;M;3;/;2;6查看分类表>
申请人	株式会社岛津制作所	申请人地址	日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社岛津制作所	当前权利人	株式会社岛津制作所
发明人	眞锅雅嗣
代理机构	北京派特恩知识产权代理有限公司	代理人	薛恒;王琳

摘要

本实用新型提供一种真空泵与检漏仪，能够防止真空泵内的缓慢泄漏的产生。真空泵包括：泵转子部(30)，层叠着多个转子盘(30a)、转子盘(30b)，所述转子盘(30a)、转子盘(30b)包括形成为环状的层叠部(300)、及呈放射状形成于层叠部(300)的外周侧的涡轮叶片(302)；轴(10)，对层叠着的多个转子盘(30a)、转子盘(30b)的层叠部(300)的内周面进行固定；以及放气用槽(313)，将轴(10)与层叠部(300)之间的存气空间(A)和配置有涡轮叶片(302)的泵排气通道(C)加以连通，使存气空间(A)内的气体经由泵排气通道(C)排出。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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