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一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310737286.7
  • IPC分类号:G01F1/66;G01P5/26
  • 申请日期:
    2013-12-27
  • 申请人:
    电子科技大学
著录项信息
专利名称一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器
申请号CN201310737286.7申请日期2013-12-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-04-02公开/公告号CN103697954A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01F1/66IPC分类号G;0;1;F;1;/;6;6;;;G;0;1;P;5;/;2;6查看分类表>
申请人电子科技大学申请人地址
四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人电子科技大学当前权利人电子科技大学
发明人代志勇
代理机构成都华风专利事务所(普通合伙)代理人徐丰;杨保刚
摘要
本发明公开了一种微腔干涉流速压差敏感结构及微腔干涉光纤流速流量传感器;用于解决现有光纤干涉仪的干涉光路非常长,存在严重的偏振信号衰落和信号温度漂移,影响测量精度的问题。本发明的微腔干涉流速压差敏感结构包括传输光纤、壳体、设置在壳体内的光纤准直器和光分束立方;光分束立方连接有并套设在壳体上的用于感知流体静压力的第一压力敏感膜片以及用于感知流体流速压力的第二压力敏感膜片;光纤准直器将传输光纤中的光波信号准直并输出到光分束立方上,并将第一、第二压力敏感膜片反射回来产生的干涉光波信号耦合进传输光纤;光分束立方将光纤准直器输出光分成两束,并使第一、第二压力敏感膜片的反射光产生干涉形成携带有流速压差信息的干涉光波信号。

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