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用于微光刻的照明光学部件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880120429.7
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2008-11-20
  • 申请人:
    卡尔蔡司SMT股份公司
著录项信息
专利名称用于微光刻的照明光学部件
申请号CN200880120429.7申请日期2008-11-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-11-24公开/公告号CN101896869A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人卡尔蔡司SMT股份公司申请人地址
德国上科亨 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司当前权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人马丁·恩德雷斯;拉尔夫·施图茨尔;詹斯·奥斯曼
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人邱军
摘要
一种用于微光刻的照明光学部件,该照明光学部件包括用于将照明光引导到物平面中要照明的物场的光学组件。根据本发明的第一方面,照明光学部件(26)将照明光辐射束(3)分成多个辐射子束(28至30),该多个辐射子束被分配物场照明的不同照明角。照明光学部件(26)被配置以使辐射子束(28至30)中的至少一些在交叠平面中交叠,该交叠平面与物平面分开且不被成像到其中发生交叠的物平面。该交叠使得交叠辐射子束(28至30)的边缘(32)至少部分地重合。根据本发明的另一方面,场强度设定装置(24)包括多个相邻的单独的光阑(27),当对那里曝光时,该多个相邻的单独的光阑至少减弱照明光(3)。这些单独的光阑(27)在平行于物移动方向(y)的方向上可插入到照明光辐射束(3)中。场强度设定装置(24)的所有单独的光阑(27)可从同一侧插入到照明光辐射束(3)中。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供