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用于离子注入的含锑材料

发明专利有效专利

申请号：
CN201880053287.0
IPC分类号：H01J37/317;H01J37/08;H01J37/32
申请日期：
2018-08-22
申请人：
普莱克斯技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于离子注入的含锑材料
申请号	CN201880053287.0	申请日期	2018-08-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-17	公开/公告号	CN111033679A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;J;3;7;/;0;8;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	普莱克斯技术有限公司	申请人地址	美国康涅狄格州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	普莱克斯技术有限公司	当前权利人	普莱克斯技术有限公司
发明人	A·雷伊尼克尔;A·K·辛哈;D·C·黑德曼
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	张萍;林毅斌

摘要

本发明提供了一种用于使用含锑掺杂剂材料的新型方法、组合物以及系统。作为离子注入工艺的一部分，选择具有足够蒸气压的组合物，以使该组合物流入电弧室。含锑材料由含非碳的化学式表示，从而减少或消除将碳基沉积物引入离子室中。组合物在稳定条件下储存在储存和输送器皿中，该储存和输送器皿包括不含痕量的水分的无水环境。

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