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一种显影机及显影方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510282275.3
  • IPC分类号:G03F7/30
  • 申请日期:
    2015-05-28
  • 申请人:
    合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
著录项信息
专利名称一种显影机及显影方法
申请号CN201510282275.3申请日期2015-05-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-08-19公开/公告号CN104849968A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/30IPC分类号G;0;3;F;7;/;3;0查看分类表>
申请人合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请人地址
安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司当前权利人合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
发明人胡瑾;孟祥明;杨慧亮;节昌凯
代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明公开了一种显影机及显影方法,采用不同浓度显影液同时供液的方案,即采用显影液喷嘴仅从玻璃基板单侧边缘帘式喷洒显影液,采用显影原液喷嘴向基板中部帘式喷洒显影原液的方式,显影液与玻璃基板接触即开始与玻璃基板上涂布的光刻胶反应,流向倾斜的玻璃基板下端的显影液浓度会一定程度上变低,根据实际需求,在玻璃基板中部补充喷洒显影原液,使整个玻璃基板面反应掉的显影溶质量一致,相对于现有技术中摇摆式喷洒显影液,本发明实施例提供的显影机可以提高玻璃基板表面显影均匀性,且采用单个显影液循环供液系统,可随时补充显影原液以保持显影液浓度,无需切换供液槽,可以节省人力,简化显影工艺的步骤。

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