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浸没式光刻兼容温控的分流控制和压力跟随装置及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510924221.2
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F7/00
  • 申请日期:
    2015-12-11
  • 申请人:
    浙江大学
著录项信息
专利名称浸没式光刻兼容温控的分流控制和压力跟随装置及方法
申请号CN201510924221.2申请日期2015-12-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-04-06公开/公告号CN105467776A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人浙江大学申请人地址
浙江省杭州市西湖区浙大路38号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江大学当前权利人浙江大学
发明人傅新;邵佳浩;陈文昱
代理机构杭州求是专利事务所有限公司代理人林超
摘要
本发明公开了一种浸没式光刻兼容温控的分流控制和压力跟随装置及方法。包括主路通道、分流通道和应用通道:主路通道出口分为两路分别连接到分流通道和应用通道,应用通道中再分两路,一路与分流通道合流排液,另一路连接到浸没单元;热交换器流出的浸没液体分为两路,一路经比例控制阀后到第一单向止回阀,另一路输入到气动二位三通阀中流向切换;经二位三通阀再分两路,一路经流量计后到浸没单元,另一路与第一单向止回阀流出的合流后排液。本发明能够使温度调控功能不再因为通流流量变化而导致响应慢、调控不稳的缺陷产生,进而影响温控效果,同时实现了对注入浸没单元的浸液流量的有效调控和在停止供液状态下通过内部持续流动而避免二次污染。

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