一种数字化控制的MEMS可调光衰减器及控制方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510166519.1
IPC分类号：B81B7/00;B81B3/00;G02B26/08
申请日期：
2015-04-09
申请人：
上海新微技术研发中心有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种数字化控制的MEMS可调光衰减器及控制方法
申请号	CN201510166519.1	申请日期	2015-04-09
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-07-08	公开/公告号	CN104760921A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;B;3;/;0;0;;;G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人	上海新微技术研发中心有限公司	申请人地址	安徽省蚌埠市禹会区冠宜大厦2号楼三层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽中科米微电子技术有限公司	当前权利人	安徽中科米微电子技术有限公司
发明人	吴亚明;徐静;江火秀
代理机构	上海光华专利事务所	代理人	余明伟

摘要

本发明提供一种数字化控制的MEMS可调光衰减器及控制方法，所述的MEMS可调光衰减器包括N面可独立驱动的扭转微镜阵列，每面扭转微镜只有两个扭转角度状态，通过控制每面微镜的扭转角度状态实现输入光信号衰减量的数字化控制，其中，9≤N≤50。本发明具有以下有益效果：1）采用数字化二进制电压控制，实现了MEMS光衰减器高精度的衰减量控制；2）无需采用反馈控制，可以有效抑制静电驱动MEMS光衰减器的“慢漂移”，大幅度降高精度光衰减器的成本和体积；3）可以有效抑制MEMS光衰减器的温度相关插入损耗，大幅度降低器件的温度影响；4）数字化控制的高精度MEMS光衰减器将大幅降低可调光衰减器仪表的成本和体积。

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