用于紫外探测器的高反射率分布布拉格反射镜结构和生长方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200610088286.9
IPC分类号：G02B5/08;H01L31/0216;H01L31/0232;H01L31/18;H01L33/00;H01L51/00;H01S5/125;H01S5/187
申请日期：
2006-07-07
申请人：
南京大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于紫外探测器的高反射率分布布拉格反射镜结构和生长方法
申请号	CN200610088286.9	申请日期	2006-07-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-01-24	公开/公告号	CN1900745
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/08 反射镜	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;0;8;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;1;6;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;3;2;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0;;;H;0;1;L;5;1;/;0;0;;;H;0;1;S;5;/;1;2;5;;;H;0;1;S;5;/;1;8;7查看分类表>
申请人	南京大学	申请人地址	江苏省南京市汉口路22号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京大学	当前权利人	南京大学
发明人	谢自力;张荣;韩平;修向前;刘斌;李亮;刘成祥;赵红;郑有炓;顾书林;江若琏;施毅;朱顺明;胡立群
代理机构	南京天翼专利代理有限责任公司	代理人	汤志武;王鹏翔

摘要

用于紫外探测器的高反射率分布布拉格反射镜结构：从基底到上部的结构为，5-50nm厚的低温LT-GaN、50-2000nm厚的高温HT-GaN和或加入一层厚度为5-100nm的高温HT-AlN；最后为10-50周期的15-80nm高温AlN/15-100nm高温AlxGal-xN，其中Al组分x≥0.3。对反射波长小于360nm的紫外射线的DBR结构；该结构包括：5-50nm厚的低温LT-GaN/50-2000nm厚的高温HT-GaN/和或包括加入一层厚度为5-100nm的高温HT-AlN/最后为10-50周期的15-80nm高温AlN/15-100nm高温AlxGal-xN结构。

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