多叶片节流阀

发明专利有效专利

申请号：
CN201280036020.3
IPC分类号：F16K3/04;F16K17/24;F16K51/02
申请日期：
2012-07-18
申请人：
磁性流体技术（美国）公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	多叶片节流阀
申请号	CN201280036020.3	申请日期	2012-07-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-26	公开/公告号	CN103688092A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16K3/04 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16K 阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置 F16K3/00 闸门阀或滑阀，即带闭合元件的切断装置，闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动（F16K 5/00优先；堰坝或低坝中的阀入E02B 8/04） F16K3/02 带有平的密封面；其所用填料 F16K3/04 带有转动式闭合元件	IPC分类号	F;1;6;K;3;/;0;4;;;F;1;6;K;1;7;/;2;4;;;F;1;6;K;5;1;/;0;2查看分类表>
申请人	磁性流体技术（美国）公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	磁性流体技术（美国）公司	当前权利人	磁性流体技术（美国）公司
发明人	P·辛
代理机构	北京金阙华进专利事务所（普通合伙）	代理人	陈建春

摘要

本发明涉及用于真空处理室的多叶片节流阀，包括：具有暴露于所述真空处理室的内部和暴露于大气压的外部的节流室主体，所述节流室主体形成用于控制所述真空处理室内的真空的贯通开口；安装在所述贯通开口内以控制气体流过所述贯通开口的多个可旋转叶片，其中每一可旋转叶片包括与其流体连通并沿其纵向设置的冷却流体通路；及设置在所述节流室主体的外部上并与其连接的驱动机构，用于旋转所述多个可旋转叶片以改变工艺气体的流动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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