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一种半导体器件制备方法及制备得到的半导体器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910631672.5
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2019-07-12
  • 申请人:
    中国科学院微电子研究所
著录项信息
专利名称一种半导体器件制备方法及制备得到的半导体器件
申请号CN201910631672.5申请日期2019-07-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-10-18公开/公告号CN110349915A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人中国科学院微电子研究所申请人地址
北京市朝阳区北土城西路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院微电子研究所当前权利人中国科学院微电子研究所
发明人项金娟;王晓磊;高建峰;李亭亭;李俊峰;赵超;王文武
代理机构北京知迪知识产权代理有限公司代理人王胜利
摘要
本发明提出了一种半导体器件制备方法及制备得到的半导体器件,该方法包括:提供半导体衬底;在半导体衬底上,形成后栅凹槽;在后栅凹槽上形成界面氧化层;在界面氧化层上形成高k栅介质层;在高k栅介质层上形成扩散阻挡层;在扩散阻挡层上形成功能金属层,其中,功能金属层能够降低等效氧化层厚度;在功能金属层上方形成功函数金属层;形成金属填充层填充后栅凹槽。根据本发明提供的降低EOT的方法,即在栅叠层中,使用降低等效氧化层厚度(EOT)功能的金属层,可以降低栅叠层结构的EOT,为小尺寸器件性能提升提供解决方案。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供