功率比例调节器和调节方法、电感耦合等离子体发生装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201010195786.9
IPC分类号：H05H1/46
申请日期：
2010-06-01
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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专利名称	功率比例调节器和调节方法、电感耦合等离子体发生装置
申请号	CN201010195786.9	申请日期	2010-06-01
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2011-12-07	公开/公告号	CN102271453A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	孙岩
代理机构	北京中博世达专利商标代理有限公司	代理人	申健

摘要

本发明提供一种功率比例调节器和调节方法、及一种电感耦合等离子体发生装置，属于功率调节领域，解决了现有的功率比例调节技术成本高的问题。本发明的功率比例调节器包括输入端、多个并联的输出端、功率调节单元、反馈控制单元，其中反馈控制单元用于控制所述功率调节单元，以使所述多个输出端的输出功率满足预定的比例关系。本发明的电感耦合等离子体发生装置包括上述功率比例调节器。本发明的功率比例调节方法包括根据各输出端的实际输出功率和输出功率的预定比例关系控制功率调节单元。

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