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一种便于调节的双工位直投式光刻机

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011386436.0
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00
  • 申请日期:
    2020-12-01
  • 申请人:
    北京新毅东科技有限公司
著录项信息
专利名称一种便于调节的双工位直投式光刻机
申请号CN202011386436.0申请日期2020-12-01
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-03-26公开/公告号CN112558423A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人北京新毅东科技有限公司申请人地址
北京市石景山区政达路6号院4号楼12层1212 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京新毅东科技有限公司当前权利人北京新毅东科技有限公司
发明人周杰;张琪;符友银;李俊毅
代理机构合肥律众知识产权代理有限公司代理人侯克邦
摘要
本发明公开了一种便于调节的双工位直投式光刻机,包括底座,底座的顶端固定开设有凹槽,凹槽内设置有工作台,且工作台的顶端设置有传送台;传送台由输送带、主动轮和从动轮构成,且主动轮与从动轮通过输送带传送连接;传送台的顶部设置有第一固定架和第二固定架,且第一固定架设置在第二固定架的一侧;第一固定架一侧的顶端设置有对位相机,第二固定架一侧的顶端设置有镜筒。该种便于调节的双工位直投式光刻机的底座内设置有液压缸,液压缸的伸缩端与工作台的底端固定连接,可通过液压缸实现工作台的升降,对工作台的高度进行调节,当需要对第一固定架和第二固定架上的对位相机和镜筒进行调节时可通过液压缸降低工作台的高度。

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