一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010619205.3
IPC分类号：H01L27/15;H01L21/67;H01L33/48;H01L33/62
申请日期：
2020-06-30
申请人：
华引芯（武汉）科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法
申请号	CN202010619205.3	申请日期	2020-06-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-02	公开/公告号	CN111739902A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L27/15 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多个单个固态器件组成的组装件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/15 包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;7;/;1;5;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;3;/;4;8;;;H;0;1;L;3;3;/;6;2查看分类表>
申请人	华引芯（武汉）科技有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来城龙山创新园一期A5北区4栋7层701单元706室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华引芯（武汉）科技有限公司	当前权利人	华引芯（武汉）科技有限公司
发明人	李坤;孙雷蒙;杨丹
代理机构	杭州宇信知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张宇娟

摘要

本发明公开了一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法，属于光电子技术领域。在实现时，先将微型发光单元按要求布置在置样板的UV膜上，由于UV膜有一定的粘性，可以对微型发光单元起到固定作用。通过固晶臂的真空气路将置样板吸附在玻璃压板上，并将置样板转移到固晶区进行固晶。待固晶操作完成，通过UV面光源的照射，使得UV膜失去粘性，完成对微型发光单元释放。该转移装置可以与常规固晶机的固晶臂配合使用，即可完成微型发光单元的转移，改装成本低，操作简便，转移效率高。同时，由于先进行微型发光单元的固晶再进行微型发光单元的释放，使得微型发光单元是在固定的状态下进行固晶，从而增加了微型发光单元固定的准确性和可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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