单晶炉新热场

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201220019963.2
IPC分类号：C30B15/14
申请日期：
2012-01-17
申请人：
浙江好亚能源股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	单晶炉新热场
申请号	CN201220019963.2	申请日期	2012-01-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/14 熔融液或已结晶化材料的加热〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;1;4查看分类表>
申请人	浙江好亚能源股份有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市浙江省海宁市钱江工业园镇保路72号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江好亚能源股份有限公司	当前权利人	浙江好亚能源股份有限公司
发明人	沈志华
代理机构	杭州赛科专利代理事务所	代理人	陈辉

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉新热场，其特征在于：包括导流筒、固化毡、桶体，导流筒固定在桶体内，桶体外加设有固化毡，单晶炉热场的中心部分设有通孔。本实用新型保温性能好，使单晶生长速度增加到了1.13mm/分钟，提高了拉晶的工作效率；钼导流筒的材质能够隔绝和反射加热器和热场所带来的加热温度，使得导流筒内部处于相对的低温空间，这样用钼制成的导流筒能更有效的使单晶的结晶降温速度比原来的更快，更安全；本身保温性能好，功率低且平稳，晶棒生长时的拉速液相对稳定，从而成品表面光滑平整。

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