具有改良轮廓的双通道喷淋头

发明专利有效专利

申请号：
CN201710833620.7
IPC分类号：H01J37/32;H01L21/67;B05B13/02
申请日期：
2017-09-15
申请人：
应用材料公司

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著录项信息

专利名称	具有改良轮廓的双通道喷淋头
申请号	CN201710833620.7	申请日期	2017-09-15
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-04-10	公开/公告号	CN107895683A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;5;B;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	D·卢博米尔斯基
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	侯颖媖;金红莲

摘要

公开了一种具有改良轮廓的双通道喷淋头。所描述的处理腔室可包括腔室外壳，所述腔室外壳至少部分限定半导体处理腔室的内部区域。腔室可包括底座。腔室可包括定位在盖与处理区域之间的第一喷淋头，并且可包括定位在第一喷淋头与处理区域之间的面板。腔室也可包括定位在半导体处理腔室的面板与处理区域之间的所述腔室内的第二喷淋头。第二喷淋头可包括耦合在一起的至少两个板以限定在所述至少两个板之间的容积。所述至少两个板可至少部分限定通过第二喷淋头的通道，并且每个通道可由在所述通道的第一末端处的第一直径表征并可由在所述通道的第二末端处的多个端口表征。

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