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具有减小应力的滤色层的图像传感器及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200310102570.3
  • IPC分类号:H01L27/146;H04N5/335;G02B1/04;G02B3/00;G02B5/20
  • 申请日期:
    2003-10-23
  • 申请人:
    华微半导体(上海)有限责任公司
著录项信息
专利名称具有减小应力的滤色层的图像传感器及其制造方法
申请号CN200310102570.3申请日期2003-10-23
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2004-06-02公开/公告号CN1501508
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/146IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;6;;;H;0;4;N;5;/;3;3;5;;;G;0;2;B;1;/;0;4;;;G;0;2;B;3;/;0;0;;;G;0;2;B;5;/;2;0查看分类表>
申请人华微半导体(上海)有限责任公司申请人地址
中国上海 淮海中路1325号百富勒广场1003室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人豪威半导体(上海)有限责任公司当前权利人豪威半导体(上海)有限责任公司
发明人山本克己
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人朱海波
摘要
在此公开一种形成用于图像传感器的滤色层的基底。该图像传感器包括形成在一个基片中的像素阵列。该方法包括在该基片上淀积一个聚合物层。该聚合物层被构图以在该聚合物层中形成间隙,该间隙位于像素之间。最后,第二聚合物层被淀积到该间隙中。

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