基于集成电路工艺的多通道红外光谱探测器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810288550.6
IPC分类号：G01N21/35
申请日期：
2018-04-03
申请人：
南京大学

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专利名称	基于集成电路工艺的多通道红外光谱探测器及其制备方法
申请号	CN201810288550.6	申请日期	2018-04-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-10-22	公开/公告号	CN110361349A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/35 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/25 颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响〔3〕 G01N21/31 测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应，例如原子吸收光谱术〔3〕 G01N21/35 利用红外光（G01N 21/39优先）〔3，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;3;5查看分类表>
申请人	南京大学	申请人地址	江苏省南京市栖霞区仙林大道163号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京大学	当前权利人	南京大学
发明人	任芳芳;罗明成;纪小丽;林栩凌;张朝阳;闫锋
代理机构	南京知识律师事务所	代理人	李媛媛

摘要

本发明公开了一种基于集成电路工艺的多通道红外光谱探测器及其制备方法。该探测器包括多个由金属表面等离激元结构构成的探测阵列单元以及微测辐射热计；金属表面等离激元结构采用正方形周期排列的金属圆柱体，金属圆柱体的周围为空气；微测辐射热计包括桥墩、桥臂、红外吸收体和热敏电阻；金属表面等离激元结构沉积在微测辐射热计的红外吸收体上；多个探测阵列单元的金属表面等离激元结构的参数不相同。本发明通过集成电路工艺，在同一红外探测器阵列芯片上集成金属表面等离激元结构和红外探测器等模块，可获得不同波长的探测信号光信息，能实现对多种波长信号的同时检测，且具有结构简单、便于集成、成本低等优点。

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